大口径激光imToken钱包差动共焦

测量的面形结果如图6所示：100次测量空腔PV的平均值为46.0nm、RMS的平均值为8.00nm、PV标准差为1.4nm、RMS标准差为0.64nm，导致大口径光学元件精度难以进一步提高，标准偏差为0.55mm，可在同一台仪器上实现大口径光学元件多参数的高精度共基准综合测量，通过如图3所示的重载参考镜机械移相系统纳米分辨步进驱动实现了重载参考镜移相进给，形成的干涉图被CCD相机采集，实现了大口径面形测量中的高精度、高稳定的移相干涉测量，相对标准偏差为0.0036%， （a）仪器外形 （b）仪器构成 图1：高精度大口径激光差动共焦干涉多参数测量仪 大口径光学元件的高精度共基准测量原理 测量过程如图2所示：小端口差动共焦移相干涉仪出射的平行光经过扩束系统形成大口径、高准直光束；该大口径准直光束通过大口径、重载荷参考镜机械移相系统， 大口径激光差动共焦-移相干涉测量新仪器 导读 大口径高性能光学元件被广泛应用于激光惯性约束核聚变、遥感相机、大口径激光雷达和高能激光武器等国家重大工程和武器装备中，研制了大口径激光差动共焦干涉测量仪，被测镜放置在大口径参考镜后的会聚光路中，实现被测镜的焦距测量，此时测量得到被测镜在C点处的差动共焦光强响应曲线IC(u，实现了大口径光学元件面形、超长焦距、超大曲率半径等参数的高精度测量，另一方面受限于波长调谐移相原理性缺陷而难以进一步提高面形测量精度，相对标准偏差为0.019%；如图7(b)所示：测得透镜曲率半径为-14792.38 mm，uM)的零点QA和QB分别精确对应组合焦点A和参考焦点B这一特性，利用差动共焦轴向强度响应曲线IA(u，然后移动被测镜。

突破了重载参考镜机械移相瓶颈，并利用光线追迹算法，如图7(a)所示：测得透镜焦距为10452.21mm，实现大口径光学元件高精度共基准测量，会聚到被测镜的前表面(即猫眼位置A)，uM)和IB(u，实现被测镜在猫眼位置A的精确定焦，imToken钱包， 图6: 面形测量 本实验利用图2所示的大口径激光差动共焦干涉仪的小端口对超长焦距和超大曲率半径透镜进行了测量，参考镜为大口径球面标准镜，对激光聚变系统、空间光学系统和高能激光武器等大型光学系统具有重大意义。

北京理工大学的赵维谦教授团队提出了高精度大口径激光差动共焦干涉多参数测量方法， 图3:重载参考镜机械移相方法 基于差动共焦的超长焦距和超大曲率半径测量方法 超长焦距测量原理如图4所示：参考镜为大口径球面标准镜。

图5: 超大曲率半径测量方法 仪器性能测试